產品描述
參數
主要技術指標：
1)等離子體源；
2)磁場線圈系統；
3)真空系統：主腔室長度約為2.62米，分為等離子體源室、輔助加熱室和靶室三部分。同時包含一個材料分析與交換室與靶室連接。采用科學、合理的真空抽氣泵組，提供所需真空環境；
4)電源系統；
5)冷卻系統；
6)其它：診斷系統、輔助加熱系統等。
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球形旋轉等離子體源系統
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