產品描述
參數
技術指標要求
項目配置：針對特定尺寸金屬棒工件(直徑φ3mm-φ5mm，長度150mm)，區域熔煉提純爐應設計為豎式結構，鈹棒工件通過夾具固定在石英管中間，且石英管外應有風冷系統；乙方應完成的設備主體和備件包括電源、夾具、真空計、石英管、質量流量計、控制電源、真空管路、截止閥、紅外測溫儀等。
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高真空固態相變單晶生長爐系統
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